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德國(guó)易福門(mén)IFM壓力傳感器是以光電器件作為轉(zhuǎn)換元件的傳感器,它可用于檢測(cè)直接引起光量變化的非電量,如光強(qiáng)、光照度、輻射測(cè)溫、氣體成分分析等;也可用來(lái)檢測(cè)能轉(zhuǎn)換成光量變化的其他非電量,如零件直徑、表面粗糙度、應(yīng)變、位移、振動(dòng)、速度、加速度,以及物體的形狀、工作狀態(tài)的識(shí)別等。光電式傳感器具有非接觸、響應(yīng)快、性能可靠等特點(diǎn),因此在工業(yè)自動(dòng)化裝置和機(jī)器人中獲得廣泛應(yīng)
德國(guó)易福門(mén)IFM壓力傳感器是工業(yè)實(shí)踐中為常用的一種傳感器,其廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)自控環(huán)境,涉及水利水電、鐵路交通、智能建筑、生產(chǎn)自控、航空航天、軍工、石化、油井、電力、船舶、機(jī)床、管道等眾多行業(yè),下面就簡(jiǎn)單介紹一些常用傳感器原理及其應(yīng)用。另有醫(yī)用壓力傳感器。
多傳感器信息融合技術(shù)的基本原理就像人的大腦綜合處理信息的過(guò)程一樣,將各種傳感器進(jìn)行多層次、多空間的信息互補(bǔ)和優(yōu)化組合處理,產(chǎn)生對(duì)觀測(cè)環(huán)境的*性解釋。在這個(gè)過(guò)程中要充分地利用多源數(shù)據(jù)進(jìn)行合理支配與使用,而信息融合的目標(biāo)則是基于各傳感器獲得的分離觀測(cè)信息,通過(guò)對(duì)信息多級(jí)別、多方面組合導(dǎo)出更多有用信息。這不僅是利用了多個(gè)傳感器相互協(xié)同操作的優(yōu)勢(shì),而且也綜合處理了其它信息源的數(shù)據(jù)來(lái)提高整個(gè)傳感器系統(tǒng)的智能化.
壓力傳感器是使用較為廣泛的一種傳感器。傳統(tǒng)的壓力傳感器以機(jī)械結(jié)構(gòu)型的器件為主,以彈性元件的形變指示壓力,但這種結(jié)構(gòu)尺寸大、質(zhì)量重,不能提供電學(xué)輸出。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,半導(dǎo)體壓力傳感器也應(yīng)運(yùn)而生。其特點(diǎn)是體積小、質(zhì)量輕、準(zhǔn)確度高、溫度特性好。特別是隨著MEMS技術(shù)的發(fā)展,半導(dǎo)體傳感器向著微型化發(fā)展,而且其功耗小、可靠性高。
半導(dǎo)體壓電阻型
半導(dǎo)體壓電阻抗擴(kuò)散壓力傳感器是在薄片表面形成半導(dǎo)體變形壓力,通過(guò)外力(壓力)使薄片變形而產(chǎn)生壓電阻抗效果,從而使阻抗的變化轉(zhuǎn)換成電信號(hào)。
靜電容量型
靜電容量型壓力傳感器,是將玻璃的固定極和硅的可動(dòng)極相對(duì)而形成電容,將通過(guò)外力(壓力)使可動(dòng)極變形所產(chǎn)生的靜電容量的變化轉(zhuǎn)換成電氣信號(hào)。 (E8Y的動(dòng)作原理便是靜電容量方式,其他機(jī)種采用半導(dǎo)體方式)。
德國(guó)易福門(mén)IFM壓力傳感器的種類(lèi)繁多,其性能也有較大的差異,如何選擇較為適用的傳感器,做到經(jīng)濟(jì)、合理的使用。
1. 額定壓力范圍
額定壓力范圍是滿(mǎn)足標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定值的壓力范圍。也就是在高和低溫度之間,傳感器輸出符合規(guī)定工作特性的壓力范圍。在實(shí)際應(yīng)用時(shí)傳感器所測(cè)壓力在該范圍之內(nèi)。
2. 大壓力范圍
大壓力范圍是指?jìng)鞲衅髂荛L(zhǎng)時(shí)間承受的大壓力,且不引起輸出特性*性改變。特別是半導(dǎo)體壓力傳感器,為提高線性和溫度特性,一般都大幅度減小額定壓力范圍。因此,即使在額定壓力以上連續(xù)使用也不會(huì)被損壞。大壓力是額定壓力高值的2-3倍。
3. 損壞壓力
損壞壓力是指能夠加在傳感器上且不使傳感器元件或傳感器外殼損壞的大壓力。
4. 線性度
線性度是指在工作壓力范圍內(nèi),傳感器輸出與壓力之間直線關(guān)系的大偏離。
5.壓力遲滯
為在室溫下及工作壓力范圍內(nèi),從小工作壓力和大工作壓力趨近某一壓力時(shí),傳感器輸出之差。
6.溫度范圍
的溫度范圍分為補(bǔ)償溫度范圍和工作溫度范圍。補(bǔ)償溫度范圍是由于施加了溫度補(bǔ)償,精度進(jìn)入額定范圍內(nèi)的溫度范圍。工作溫度范圍是保證壓力傳感器能正常工作的溫度范圍。
技術(shù)參數(shù) (量程15MPa-200MPa)
參數(shù) 單位 技術(shù)指標(biāo) 參數(shù) 單位 技術(shù)指標(biāo)
靈敏度 mV/V 1.0±0.05 靈敏度溫度系數(shù) ≤%F·S/10℃ ±0.03非線性 ≤%F·S ±0.02~±0.03 工作溫度范圍 ℃ -20℃~+80℃滯后 ≤%F·S ±0.02~±0.03 輸入電阻 Ω 400±10Ω重復(fù)性 ≤%F·S ±0.02~±0.03 輸出電阻 Ω 350±5Ω蠕變 ≤%F·S/30min ±0.02 安全過(guò)載 ≤%F·S 150% F·S零點(diǎn)輸出 ≤%F·S ±2 絕緣電阻 MΩ ≥5000MΩ(50VDC)零點(diǎn)溫度系數(shù) ≤%F·S/10℃ ±0.03 推薦激勵(lì)電壓 V 10V-15V